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分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力,避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高,造成负荷过大,泵温过高等
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岛津Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303 LMC .Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303LMC 分子泵进气法兰口VG200/ICF253/ISO200B ,出气法兰口KF40,TMP-1303MC岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为:Shimadzu EI-D1303M
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卧式泵有两组涡轮叶片,体积大,外壳形状复杂,因而造价也较高。
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分子泵出现机封渗油
故障剖析:机封毁坏;密封性旋盖未铺平;装配线部位不对。
解决方法:拆换机封;调节密封性旋盖;再次按技术标准装配线。